1.由于擴(kuò)散泵油返流在泵開始工作和泵停止加熱階段，嚴(yán)重，因此在開泵前和停泵前應(yīng)將擴(kuò)散泵的入口的高真空閥門關(guān)閉，可以防止泵油返流到真空室。
2.不要在壓力高于10-2pa時(shí)給冷阱加入液氮，這樣會導(dǎo)致凝結(jié)很多水氣。冷阱在使用前要把液氮阱的貯液罐中的，水凝液都清除掉，以避免水凍結(jié)在阱內(nèi)。開始抽氣時(shí)，分步地加注液氮，這樣可使真空系統(tǒng)冷凝物,捕集在阱的下部。當(dāng)達(dá)到高真空后，應(yīng)給阱加注液氮達(dá)到較高液面，以便，量捕集氣體,使用廣科真空包裝機(jī)時(shí)請按說明書操作。
3.為了縮短抽空時(shí)間，當(dāng)真空室對，氣壓作短時(shí)間通氣時(shí)，使用干燥氮?dú)鉃楹谩０颜婵障到y(tǒng)內(nèi)表面的濕氣減到小限度。通氣時(shí)應(yīng)在真空室一側(cè)用放氣閥門進(jìn)行放氣。不可以從擴(kuò)散泵出口的前，管道上通氣。 、
4使用熱陰，電離計(jì)時(shí)，應(yīng)該在真空室內(nèi)的壓力達(dá)到1.33×10-11pa時(shí)，再接通電離計(jì)的電源，防止因壓力過高而燒壞規(guī)管的陰，燈絲。
5.當(dāng)真空系統(tǒng)停止工作時(shí)，應(yīng)使系統(tǒng)處于并保持在真空狀態(tài)下，但是機(jī)械泵要通，氣。
真空系統(tǒng)的日常維護(hù)工作,應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：
1.在真空系統(tǒng)操作吉應(yīng)注意真空系統(tǒng)的清潔問題，對周期,工作的真空系統(tǒng)，應(yīng)及時(shí)清除工藝過程所產(chǎn)生的污物，盡量縮短真空室暴露在在氣中的時(shí)間以減少潮濕空氣對真空室的吸附量。
2.真空系統(tǒng)停止工作時(shí)應(yīng)將系統(tǒng)抽空操作一定的真空狀態(tài)。
3.對系統(tǒng)中所使用的種真空泵，真空閥門等應(yīng)嚴(yán)格遵守其操作規(guī)程，做好日常的維護(hù)工作。 |
